nld

Wanneer geavanceerde technologie problemen oplevert die nog nooit eerder zijn gezien, heeft KT-probleemanalyse de overhand

Halfgeleiders

Klant

Tokyo Electron Ltd (TEL) is momenteel de op één na grootste leverancier van productie-uitrusting voor de halfgeleiderproduktie-industrie en verkoopt hoogtechnologische uitrusting aan de belangrijkste microchipproducenten wereldwijd. Als onderdeel van een gezamenlijke ontwikkelingsovereenkomst met een Europees O&O-centrum ontwikkelen TEL-ingenieurs een nieuw high-k halfgeleiderproces op basis van de TELFORMULA verticale mini-batchoven van het bedrijf, waarbij gebruik wordt gemaakt van 12-inch siliciumwafers. Het experimentele proces werd in Japan getest en overgebracht naar de machine van de klant - één van een handvol gelijkaardige werktuigen wereldwijd.

Uitdaging

Na aanvankelijk succes begon het product van het gereedschap van de klant een slechte herhaalbaarheid van de dikte te vertonen. Dit werd toegeschreven aan variaties van gereedschap tot gereedschap en aangepakt door het proces bij te stellen. Toen dit het probleem niet volledig oploste, werd een specialist uit Japan overgevlogen om te helpen de oorzaak te vinden. Hoewel hij enkele kleine problemen kon oplossen, bleef het dikteprobleem onopgelost. Achttien maanden na de installatie was het gereedschap nog steeds onbetrouwbaar.

Oplossing

Op dat moment werden TEL productie specialisten in Europa opgeleid in KT Problem Solving & Decision Making als onderdeel van een wereldwijd initiatief om de klantenondersteuning te verbeteren. Na de training, herkende Dr. Darren Hill het TELFORMULA probleem als een goede toepassing van KT processen. Met behulp van KT Problem Analysis creëerde hij een initiële probleemstelling en specificeerde vervolgens het probleem door te vragen wat, waar, wanneer en de omvang van de variatie, waarbij hij de tool op de klantlocatie gebruikte als de IS (wat is, waar is, etc.) en de moeder tool in Japan als de IS NOT. Een belangrijk onderscheid identificeerde een probleem in het drukregelsysteem als de oorzaak van de diktevariatie.

Vervolgens startte hij een tweede probleemanalyse om de oorzaak te achterhalen door het probleem met het drukregelsysteem te analyseren. Dit leidde tot aanvullende tests en gegevensverzameling, zowel in Europa als in Japan. De systematische logica van het rationele proces bracht twee verschillende problemen met het moederwerktuig in Japan aan het licht die de afwijking hadden veroorzaakt, het werktuig van de klant bleek volledig correct te werken. Er werd een nieuwe BKMKM (best bekende methode) voor het proces afgegeven en het probleem heeft zich niet meer voorgedaan.

Resultaten

Met behulp van KT rationeel proces, werd een 18 maanden oud probleem opgelost in twee maanden, het volledige vertrouwen in de state-of-the-art tool werd hersteld, en de relatie tussen TEL en de klant werd versterkt. Vandaag wordt deze Probleemanalyse gebruikt in het ingenieursonderwijs en wordt het gecrediteerd voor het openen van nieuwe lijnen van wereldwijde communicatie.

In dezelfde periode in het O&O-laboratorium werden de aanhoudende problemen met het gereedschap van een concurrent nooit opgelost en werd het gereedschap door de concurrent opgegeven. Wanneer de nieuwe technologie van de klant uiteindelijk wordt overgenomen, staat TEL klaar om meer nieuwe gereedschappen te leveren - elk met een prijskaartje van meerdere miljoenen dollars.

Samenvatting van het Probleemanalyseproces:

Beschrijf Probleem

Geef het probleem aan. Wat heeft de afwijking? Wat is de afwijking? Wat zien, horen, voelen, proeven of ruiken we dat ons vertelt dat er een afwijking is?

Specificeer het probleem

Identificeer Mogelijke Oorzaken

Gebruik kennis en ervaring om mogelijke oorzaakverklaringen te ontwikkelen (vaak nuttig om eerst onderscheid en veranderingen te onderzoeken)
Gebruik onderscheidingen en veranderingen om mogelijke oorzaakverklaringen te ontwikkelen (niet nodig voor "Mate")

Evalueer mogelijke oorzaken

Toets mogelijke oorzaken aan de IS- en IS-NIET-specificatie (neem "Alleen als" kwalificaties op)
Bepaal de meest waarschijnlijke oorzaak

Bevestig ware oorzaak

Neem contact met ons op

Voor vragen, details, of een voorstel!