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Lorsque les nouvelles technologies induisent des problèmes jamais vus auparavant, l'analyse des problèmes prévaut

Semi-conducteurs

Client

Tokyo Electron Ltd (TEL) est actuellement le deuxième plus grand fournisseur d'équipements de production pour l'industrie des semi-conducteurs, vendant des équipements de pointe aux principaux fabricants de micropuces du monde entier. Dans le cadre d'un accord de développement conjoint avec un centre de R&D européen, les ingénieurs de TEL développent un nouveau procédé de fabrication de semi-conducteurs diélectriques high-k, basé sur le mini-four vertical TELFORMULA de la société, qui utilise des plaquettes de silicium de 12 pouces. Le procédé expérimental a été testé au Japon et transféré sur la machine du site du client - l'un des rares dans le monde.

Défi

Après un succès initial, le produit issu de l'outil chez le client a commencé à présenter une faible répétabilité de l'épaisseur. Ce problème a été imputé aux variations d'un outil à l'autre et a été résolu en ajustant le processus. Le problème n'ayant pas été entièrement résolu, un spécialiste est venu du Japon pour aider à en trouver la cause. Bien qu'il ait pu régler quelques problèmes mineurs, le problème d'épaisseur n'a pas été résolu. Dix-huit mois après son installation, l'outil n'était toujours pas fiable.

Solution

À cette époque, les spécialistes de la production TEL en Europe étaient formés à la résolution de problèmes et à la prise de décision en matière KT dans le cadre d'une initiative mondiale visant à améliorer le support client. Après la formation le Dr Darren Hill a reconnu que le problème TELFORMULA était une bonne application des méthodes. S'appuyant sur l'analyse des problèmes il a défini le problème initial, puis a précisé la description du problème (quoi, où, quand et ampleur), utilisant l'outil de référence du client comme EST et l'outil de la maison mère au Japon comme N'EST PAS. Une distinction clé a permis d'identifier un problème dans le système de contrôle de la pression comme étant la cause de la variation.

Il a ensuite lancé une deuxième investigation pour identifier la cause du problème du système de contrôle de la pression. Cela a conduit à des tests supplémentaires et à la collecte de données à la fois en Europe et au Japon. La logique systématique du processus rationnel a permis de découvrir deux problèmes différents avec l'outil installé au Japon. L'outil client s'est avéré fonctionner tout à fait correctement. Une nouvelle Best Practice a été émise pour le processus et le problème ne s'est pas reproduit.

Résultats

Grâce à la méthode un problème vieux de 18 mois a été résolu en deux mois. La confiance dans l'outil de pointe a été restaurée et la relation entre TEL et le client a été renforcée. Aujourd'hui, cette analyse de problèmes est utilisée dans la formation des ingénieurs et on lui attribue le mérite d'avoir ouvert de nouvelles lignes de communication entre les parties prenantes.

 

Résumé du processus d'analyse du problème :

 

 

 

 

 
 

 

 
 

 

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