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Lorsque la technologie avancée présente des problèmes jamais vus auparavant, l'analyse des problèmes d'AC prévaut.

Semi-conducteurs

Client

Tokyo Electron Ltd (TEL) est actuellement le deuxième plus grand fournisseur d'équipements de production pour l'industrie des semi-conducteurs, vendant des équipements de pointe aux principaux fabricants de micropuces du monde entier. Dans le cadre d'un accord de développement conjoint avec un centre de R&D européen, les ingénieurs de TEL développent un nouveau procédé de fabrication de semi-conducteurs à haute teneur en k, basé sur le mini-four vertical TELFORMULA de la société, qui utilise des plaquettes de silicium de 12 pouces. Le procédé expérimental a été testé au Japon et transféré sur la machine du site du client - l'un des rares outils similaires dans le monde.

Défi

Après un succès initial, le produit issu de l'outil du client a commencé à présenter une faible répétabilité de l'épaisseur. Ce problème a été imputé aux variations d'un outil à l'autre et a été résolu en ajustant le processus. Le problème n'ayant pas été entièrement résolu, un spécialiste est venu du Japon pour aider à en trouver la cause. Bien qu'il ait pu régler quelques problèmes mineurs, le problème d'épaisseur n'a pas été résolu. Dix-huit mois après son installation, l'outil n'était toujours pas fiable.

Solution

À cette époque, les spécialistes de la production TEL en Europe étaient formés à la résolution de problèmes et à la prise de décision en matière d'AC dans le cadre d'une initiative mondiale visant à améliorer le soutien à la clientèle. Après la formation, le Dr Darren Hill a reconnu que le problème TELFORMULA était une bonne application des processus d'AC. À l'aide de l'analyse des problèmes d'AC, il a créé un énoncé de problème initial, puis a précisé le problème en demandant quoi, où, quand et l'étendue de la variation, en utilisant l'outil sur le site du client comme IS (what is, where is, etc.) et l'outil mère au Japon comme IS NOT. Une distinction clé a permis d'identifier un problème dans le système de contrôle de la pression comme étant la cause de la variation d'épaisseur.

Il a ensuite lancé une deuxième analyse de problème pour identifier la cause du problème en analysant le problème du système de contrôle de la pression. Cela a conduit à des tests supplémentaires et à la collecte de données à la fois en Europe et au Japon. La logique systématique du processus rationnel a permis de découvrir deux problèmes différents avec l'outil mère au Japon qui avait causé la déviation, l'outil client s'est avéré fonctionner tout à fait correctement. Une nouvelle BKMKM (meilleure méthode connue) a été émise pour le processus et le problème ne s'est pas reproduit.

Résultats

Grâce au processus rationnel d'AC, un problème vieux de 18 mois a été résolu en deux mois, une confiance totale dans l'outil de pointe a été restaurée et la relation entre TEL et le client a été renforcée. Aujourd'hui, cette analyse de problèmes est utilisée dans la formation des ingénieurs et on lui attribue le mérite d'avoir ouvert de nouvelles lignes de communication mondiale.

Au cours de cette même période au laboratoire de R&D, des problèmes constants avec l'outil d'un concurrent n'ont jamais été résolus et l'outil a été abandonné par le concurrent. Lorsque la nouvelle technologie du client est finalement adoptée, TEL est prête à fournir d'autres nouveaux outils - chacun avec un prix de plusieurs millions de dollars.

Résumé du processus d'analyse du problème :

Décrire le problème

Énoncez le problème. Quel est l'écart ? Quelle est la déviation ? Qu'est-ce que nous voyons, entendons, sentons, goûtons ou sentons qui nous dit qu'il y a une déviation ?

Précisez le problème

Identifier les causes possibles

Utiliser les connaissances et l'expérience pour élaborer des énoncés de causes possibles (il est souvent utile d'examiner d'abord les distinctions et les changements).
Utilisez les distinctions et les changements pour élaborer des énoncés de causes possibles (non nécessaire pour "l'étendue").

Évaluer les causes possibles

Testez les causes possibles par rapport à la spécification IS et IS NOT (enregistrez les qualificatifs "seulement si").
Déterminer la cause la plus probable

Confirmer la vraie cause

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